多晶硅石英坩堝的規(guī)定及其應(yīng)用留意點(diǎn)
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2019-10-31
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關(guān)鍵詞：多晶硅石英坩堝規(guī)定
半導(dǎo)體材料級(jí)高純度多晶硅
石英坩堝是拉制大直經(jīng)單晶硅的消耗性容器，每生產(chǎn)制造一爐單晶硅就消耗掉一只鉗鍋。單晶硅是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的原料，對(duì)鉗鍋的規(guī)定嚴(yán)苛。
一般國(guó)際上對(duì)多晶硅石英坩堝的規(guī)定：材料務(wù)必是高純半導(dǎo)體材料級(jí)；耐熱性強(qiáng)；鉗鍋的規(guī)格大；高精度；隔熱保溫特性好；節(jié)約資源；產(chǎn)品品質(zhì)一致性好；可靠性高等學(xué)校特性。多晶硅石英坩堝在應(yīng)用時(shí)要留意：
1．多晶硅石英坩堝可在1700度下列灼熱，但灼熱溫度高過(guò)1100度方解石會(huì)變?yōu)椴蝗该?，因而熔化溫度不可超?00度。
2、不可以和HF觸碰，高溫時(shí)，非常容易和苛性堿及堿土金屬的硫化物功效。
